急速に加熱・冷却されるウエハ表面温度の正確なモニタリングシステムを開発
独立行政法人 産業技術総合研究所
株式会社半導体先端テクノロジーズ
大日本スクリーン製造株式会社
株式会社チノー
独立行政法人 産業技術総合研究所
株式会社半導体先端テクノロジーズ
大日本スクリーン製造株式会社
株式会社チノー
─ 高速・高精度・他店同時計測を実現する温度計測─
株式会社ネツシン
設立より白金測温抵抗素子による小型の温度センサに特化、約20年前に小型Ptセンサを開発。さらに、「ごま」より小さい超小型のPt素子を開発し、箔に近い0.2mmの厚さのフィルムセンサを開発。最先端技術からの要望により高速・高精度・多点同時計測の次世代温度計測器を開発した株式会社ネツシン 専務取締役 今村 友亮 氏、技術開発部 小泉 健一 氏に製品と技術について伺った。
株式会社デンソー
株式会社デンソーは、従来品と比べて温度検出精度を向上した排気温センサを開発した。2009年秋に米国で発売されるディーゼルエンジンの商用車に搭載される予定。また、2010年以降に日本と欧州で発売される車両にも搭載される予定。
http://www.denso.co.jp/ja/news/newsreleases/2009/090421-01.html
