応力・電気抵抗変化測定技術を開発
~材料の構造設計・新材料探索を加速する~
国立大学法人東京工業大学
国立大学法人東京大学
NEDOの産業技術研究助成事業の一環として、東京工業大学 応用セラミックス研究所の松本祐司准教授と東京大学物性研究所のミック・リップマー(Mikk Lippmaa)准教授は共同研究により、組成や構造が異なる複数の試料が作製された薄膜の応力をその場で測定するのと同時に各試料の応力に依存した電気抵抗変化を高速測定(所要時間約10 分)できる技術を開発した。圧電素子と波面センサーを応力の印加と評価にそれぞれ利用することで、従来技術と比べて簡便な設計で機械的な変形を電気的な信号としてその場で変換することが可能となる。企業・研究組織を問わず、材料の構造設計、新材料探索の研究開発などを加速化させるツールとして期待される技術。