静岡大、薬液を使用しない低環境負荷型の洗浄技術を開発
国立大学法人静岡大学
NEDOの産業技術研究助成事業の一環として、静岡大学 工学部機械工学科の真田俊之助教は、薬液を一切使わずに水だけで洗浄する工業・産業プロセス向けの新しい枚葉式洗浄技術を開発した。水蒸気と水を混合噴射させる手法で、蒸気がもつ凝縮効果により、濡れにくい極微細な表面でも効果的に洗浄できる技術。ノズル形状や設計を工夫し蒸気の噴流を制御することで、非常に細かなパターン内やナノスケールのパーティクルなど、対象物を傷つけることなく効率良く除去でき、再現性にも優れている。半導体デバイスやプリント基板、光学レンズ、大型ガラスの洗浄用途のほか、医療器具や食品、一般家庭での洗浄など、洗浄にかかるあらゆる分野で応用が期待される。
