有機デバイス封止材用水分透過率測定装置を東京大学と共同開発
株式会社ＭＯＲＥＳＣＯ
東京大学
株式会社ＴＩ
株式会社ＭＯＲＥＳＣＯは、フレキシブル有機デバイス封止材用「水分透過率測定装置」を東京大学、株式会社ＴＩと共同で開発した。これにより、従来計測できなかった高感度の水分透過率の測定が短時間で可能となる。
有機電界発光素子、有機太陽電池などフレキシブル有機デバイスを製造するにあたって、水分や酸素は有機半導体を劣化させ寿命を著しく縮めることが知られている。そこで、素子を構成する基板やシール材には高性能の水蒸気バリヤ性を持つ材料を用いる必要があるが、これまでのガスバリア性の評価装置は感度・測定時間の点で不十分であり、特に、測定時間が数日かかることから、材料や素子の開発や生産の管理に用いることは不可能だった。
今回、この問題を解決するため、東京大学、株式会社ＴＩと共同で開発に取組み、現状で最も厳しいガスバリア性（～１×１０-6g/m2/day）を要求する有機ＥＬにも対応できる感度を有し、数時間で測定が可能な装置を開発。この高感度・短時間測定の実現には、大気圧下の試料空間と超高真空中の質量分析計の間で水蒸気を冷却トラップを介して受け渡すという新しい原理に基づいた方法を考案、採用している。
≪特徴≫
①有機ＥＬで必要な１×１０-6g/m2/day が測定できる感度
（従来の輸入装置の測定は４×１０-4g/m2/day が限度）
②測定は数時間程度
(短時間での繰り返し測定が可能)
③試料フィルムのダメージが少なく、再現性の良い測定が可能