FC-CSP向けレーザダイレクトイメージングシステムを発売
日本オルボテック株式会社
日本オルボテック株式会社は、全世界で360システム以上の出荷実績を誇るレーザダイレクトイメージングシステム Paragonシリーズに新たに『Paragon-Ultra 80』を追加した。
今回新たに追加されたレーザダイレクトイメージングシステム Paragonの新モデル『Paragon-Ultra 80』は、SAP工程におけるFC-CSP製造に最適な製品で、オルボテック従来のレーザーダイレクトイメージングの精度および高精度位置合わせをさらに向上させている。このモデルは、次世代のFC-CSP仕様向けに、最小15μmのパターン寸法及び最小40μmピッチに対応している。さらに多様なスケーリングモードにも対応しており、同一パネル上で異なるスケールに対応可能である(ローカルスケーリング)。そして、既存のParagonモデル同様、装置稼動時間を最大限活用できるよう、オートメーションにも対応しており、ユーザーの要望に応じてインラインタイプ、シングルタイプと様々なタイプを用意している。
この新モデル・『Paragon-Ultra 80』は、すでに日本を含めアジア、ヨーロッパにおいて10システムが採用済みで、同社は、国内年間販売目標数を15システムとしている。
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